职称:研究员、助理教授
导师类别:博士生导师
研究所:物理电子学研究所/碳基电子学研究中心
招生专业:物理电子学
研究领域:低维电子学;拟态神经电子器件与系统集成;陡峭亚阈值摆幅超低功耗器件
电子邮件:chenguangqiu[at]pku.edu.cn
教育与工作经历:
2019~今 北京大学电子学院研究员,博导
2016~2019 北京大学博士后
2011~2016 北京大学博士
2007~2011 西安电子科技大学本科
研究成果:
从事亚1纳米节点后摩尔芯片技术研究,聚焦攻关高性能低维电子器件。从实验上将低维半导体器件的性能推进理论极限,并系统证明了低维半导体技术在未来亚1纳米节点的性能功耗优势。以一作/通讯作者在Nature, Science, Nature Electronics, Nature Materials, ACS Nano, AFM, Nano Letters, IEDM等发表论文; 其中《科学》两篇,《自然》一篇。成果被写入国际半导体技术路线图IRDS。多项成果被台积电,英特尔,三星,IBM,IMEC,CEA-Leti等机构引用。被华为、中科院、清华、北京市科委等邀请做后摩尔技术专题报告。成果被人民日报海外版、人民网、央广网、科学网、光明日报、中国科学报、Nature Index,IEEE Spectrum, Phys.org, Tech Xplore等报道。
1) “弹道InSe晶体管”(Nature):通过采用高迁移率的InSe作为沟道材料,研制出世界上弹道率最高(83%)的二维晶体管,首次将二维晶体管的电压降到0.5V,性能超过硅基极限,被国际同行评议为速度最快、功耗最低的二维晶体管。被Intel公司在IEDM会议上标注为首个同时满足业界开关态标准的二维晶体管。
2) “5纳米栅长碳纳米管晶体管”(Science):将碳基晶体管的性能推进到量子极限,采用钯钪非对称接触实现先进节点互补对称的碳管CMOS,性能和动态功耗优于硅基。被台积电公司在Hotchip大会上作为后摩尔代表性技术介绍。
3) “狄拉克冷源晶体管”(Science):首次在国际上提出并实现冷源亚60超低功耗新器件机制,将晶体管亚阈值摆幅降到35毫伏/量程,拓宽了超低功耗器件领域范围。被台积电、三星等公司在Nature综述上列入15种晶体管基本构型之一,被Intel公司在在Science综述上列入三种超低功耗器件代表性技术。
4) “稀土钇掺杂金属化欧姆接触工程”(Nature Electronics):首次提出采用稀土钇元素掺杂诱导二维相变理论,解决了二维半导体接触存在费米钉扎的国际难题;并发明了选区单原子层极限深度的掺杂工艺,将半导体掺杂深度从业界5纳米(离子注入限制)推进到单原子层0.5纳米极限深度。该技术兼容于1纳米节点先进光刻图形化工艺。
5) “高性能二维环栅GAA晶体管”(Nature Materials):制备出晶圆级多层堆叠的二维 GAA 晶体管,等效氧化物厚度(EOT)缩减为 0.28 nm。为目前国际上最高性能的二维环栅晶体管,在 0.5 V 的超低电压下工作,电流超过1毫安/微米,并且亚阈值摆幅接近玻尔兹曼理论极限 62 毫伏/量程。同时采用精确曝光技术实现空气侧墙结构,将小尺寸二维环栅晶体管开关速度提升到 1.9 ps。
人物奖励:
Ø 科学探索奖
Ø 达摩院青橙奖
Ø 部委重点项目首席科学家
Ø 国家重点研发计划-首席青年科学家
Ø 国家基金委优青
Ø 麻省理工科技评论 科技创新35人(亚太区)(MIT Technology Review Innovators Under 35, Asia-Pacific)
Ø 中国电子学会科学技术奖-青年科学家奖
Ø 中国十大新锐科技人物
Ø 黄廷方/信和青年杰出学者
Ø 北京大学博雅青年学者
Ø 北京大学优秀博士学位论文指导老师
Ø 北京大学北银优秀教师奖
科研奖励:
Ø 中国十大科技进展新闻(中科院和工程院)
Ø 中国高等学校十大科技进展(教育部,2023, 2017 两次)
Ø 国家重点研发计划十三五重大标志性成果 (科技部)
Ø 中国半导体十大研究进展
Ø 中国芯片科学十大进展
Ø 中国重大科学、技术、工程进展(2023, 2017 两次)
Ø 全国科创中心重大标志性原创成果
Ø 中国百篇最具影响国际学术论文(中信所,中国科技论文统计报告)
Ø 中关村论坛-基础前沿板块核心驻足项目(2024)
Ø 北京大学电子学院优秀科研奖(2024, 2020 两次)
主持项目:
1. 国家部委,重点项目,首席(2650万)
2. 国家部委,专项计划,负责人(3350万)
3. 国家科技部,国家重点研发计划变革性技术重点专项,青年首席
4. 国家基金委,优秀青年科学基金,负责人
5.国家基金委,面上项目,负责人